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微電子行業(yè)-超純水處理工藝流程
以下是適用于微電子行業(yè)用水的工藝流程:
1、采用離子交換樹(shù)脂制備超純水的傳統(tǒng)水處理方式,其基本工藝流程為:原水→沙炭過(guò)濾器→精密過(guò)濾器→原水箱→陽(yáng)床→陰床→泥床(復(fù)床)→純水箱→純水泵→后置精密過(guò) 濾器→用水點(diǎn)。
2、采用反滲透工藝水處理設(shè)備與離子交換設(shè)備進(jìn)行組合的方式,其基本工藝流程為: 原水→沙炭過(guò)濾器→精密過(guò)濾器→原水箱→反滲透設(shè)備→混床(復(fù)床)→純水箱→純水泵→ 后罝精密過(guò)濾器→用水點(diǎn)。
3、采用反滲透水處理設(shè)備與電去離子(EDI)設(shè)備進(jìn)行搭配的方式,這是一種超純水處理的最新工藝,也是一種環(huán)保,經(jīng)濟(jì),發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に?,其基本工藝流程為?原水→沙炭過(guò)濾器→精密過(guò)濾器→原水箱→反滲透設(shè)備→電去離子(EDI)—純水箱→純水泵→后罝精密過(guò)濾器→用水點(diǎn)。
當(dāng)然,需要根據(jù)實(shí)際情況設(shè)計(jì)合理的工藝流程。其中,反滲透設(shè)備是制取超純水的關(guān)鍵,能夠有效地去除水中的溶解鹽類(lèi)、膠體、微生物、有機(jī)物等。
- 關(guān)鍵詞:反滲透,超純水
- 本文由秦泰盛SMT貼標(biāo)機(jī)、全自動(dòng)貼背膠機(jī)、PCB貼標(biāo)機(jī)供應(yīng)商進(jìn)行編輯整理,如若轉(zhuǎn)載,請(qǐng)注明出處。
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