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微電子行業(yè)-超純水處理工藝流程

編輯:反滲透設(shè)備(秦泰盛)        日期:2016/1/6 15:27:21        閱讀:1616
如今,我們生活在一個(gè)新世紀(jì),新技術(shù)時(shí)代,雖然生活中包含了新材料、新能源、生物工程、海洋工程、航空航天技術(shù)和電子信息技術(shù)等等,但是影響最大,運(yùn)用最廣泛,滲透性最強(qiáng),最具有新技術(shù)時(shí)代代表性的乃是以微電子技術(shù)為核心的電子信息技術(shù)。微電子技術(shù)是隨著集成電路,尤其是超大型規(guī)模集成電路而發(fā)展起來(lái)的一門(mén)新的技術(shù),微電子技術(shù)包括系統(tǒng)電路設(shè)計(jì),器件物理、材料制備、自動(dòng)測(cè)試以及封裝、組裝等一系列專(zhuān)門(mén)技術(shù),隨著微電子行業(yè)的不斷發(fā)展,他們的用水標(biāo)準(zhǔn)也要符合規(guī)定的標(biāo)準(zhǔn),微電子行業(yè)需用超純水。

以下是適用于微電子行業(yè)用水的工藝流程:

1、采用離子交換樹(shù)脂制備超純水的傳統(tǒng)水處理方式,其基本工藝流程為:原水→沙炭過(guò)濾器→精密過(guò)濾器→原水箱→陽(yáng)床→陰床→泥床(復(fù)床)→純水箱→純水泵→后置精密過(guò) 濾器→用水點(diǎn)。

2、采用反滲透工藝水處理設(shè)備與離子交換設(shè)備進(jìn)行組合的方式,其基本工藝流程為: 原水→沙炭過(guò)濾器→精密過(guò)濾器→原水箱→反滲透設(shè)備→混床(復(fù)床)→純水箱→純水泵→ 后罝精密過(guò)濾器→用水點(diǎn)。

3、采用反滲透水處理設(shè)備與電去離子(EDI)設(shè)備進(jìn)行搭配的方式,這是一種超純水處理的最新工藝,也是一種環(huán)保,經(jīng)濟(jì),發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に?,其基本工藝流程為?原水→沙炭過(guò)濾器→精密過(guò)濾器→原水箱→反滲透設(shè)備→電去離子(EDI)—純水箱→純水泵→后罝精密過(guò)濾器→用水點(diǎn)。

當(dāng)然,需要根據(jù)實(shí)際情況設(shè)計(jì)合理的工藝流程。其中,反滲透設(shè)備是制取超純水的關(guān)鍵,能夠有效地去除水中的溶解鹽類(lèi)、膠體、微生物、有機(jī)物等。

超純水反滲透膜